B1505A 功率器件分析儀/曲線追蹤儀主要特性與技術指標
B1505A 功率器件分析儀/曲線追蹤儀廣泛的源范圍與低電平精密測量功能相結合
- 適合功率器件表征的綜合解決方案，高達 1500 A 和 10 kV
- 中等電流測量和高電壓偏置（例如，500 mA，1200 V）
- μΩ 導通測量功能
- 高電壓偏置時，可進行**的 sub-pA 電平電流測量
B1505A 功率器件分析儀/曲線追蹤儀廣泛的器件測量功能
- 可在高達 +/- 3 kV 直流偏置時執行電容測量
- 10μs 高功率脈沖測量
- 溫度測量功能
- 高電壓/強電流快速切換選件，適用于 GaN 電流崩塌效應表征
B1505A 功率器件分析儀/曲線追蹤儀改進的測量效率
- 在高電壓和強電流測量之間自動切換，無需重新布線
- 具有**互鎖機制的標準測試夾具，可進行封裝功率器件測試
- 已經過測試并支持高功率 200 A 晶圓上測試
- MS Windows EasyEXPERT 軟件簡化了數據管理和數據分析流程
B1505A 功率器件分析儀/曲線追蹤儀可升級和可擴展的硬件體系結構
- 10 模塊插槽
- 支持具有高達 6 個連接引腳的高功率器件
B1505A 功率器件分析儀/曲線追蹤儀描述
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Agilent B1505A 功率器件分析儀/曲線追蹤儀是**能夠對 sub-pA 電平至 10 kV 和 1500 A 的高功率器件進行表征的綜合解決方案。這些功能能夠對*新的器件（例如 IGBT）和材料（例如 GaN 和 SiC）進行測量。B1505A 支持各種模塊：高電壓 SMU（HVSMU）、強電流 SMU（HCSMU）、超強電流（UHC）模塊、超高電壓（UHV）模塊和高電壓中等電流（HVMC）模塊。B1505A 還支持：高功率 SMU（1 A/200 V）、中等功率 SMU（100 mA/100 V）、中等電流 SMU（1 A/30V 脈沖，100 mA/30V 直流）和多頻電容測量單元（1 kHz – 5 MHz）。B1505A 的 10 插槽模塊化主機支持您對其進行配置，以滿足您的測量需求。
B1505A 軟件環境以 Microsoft® Windows® 7 操作系統為基礎，包括曲線追蹤儀，支持用戶檢測器件特征和探測器件故障。如同使用曲線追蹤儀一樣，B1505A 提供旋鈕控制可變掃描功能，可對參數（例如擊穿電壓）進行實時測量。B1505A 還提供“示波器查看功能”，可直觀地幫助操作人員優化應用于器件的電壓和電流。測量設置信息和數據可自動存儲到 B1505A 的內置硬盤，并復制到 USB 閃存和其他便攜存儲器件。將器件測量結果匯總之后，測量數據可輕松復制到工程報告中。
強大的測試夾具解決方案對于確保操作人員**（由于生成的高電壓和強電流）和支持各種功率器件封裝類型極為重要。以前的傳統曲線追蹤儀受功率器件大小的限制，無法對某些功率器件進行測試，而且有時為了測試某一器件必須臨時裝配適配器。然而不論器件的大小或形狀如何，B1505A 的測試夾具可連接各種器件，例如功率 MOSFET、二極管和 IGBT 等。這可以通過大型測試夾具適配器和定制的測試夾具模塊來實現。此外，測試夾具的內置互鎖機制可確保在測試器件過程中**地應用高電壓和強電流。
安捷倫可提供一個轉換套件，使現有的 B1500A 用戶將其 B1500A 主機轉換為 B1505A 主機。這使當前的 B1500A 用戶能夠以較低的成本擴展現有儀器的電壓和電流測量功能。模塊選型指南
| 測量資源 |
所需模塊/擴展器 |
所需插槽數 |
主要技術指標 |
| 高功率 SMU（HPSMU） |
B1510A HPSMU |
2 |
高達 200 V、1 A，10 fA 電流分辨率 |
| 中等功率 SMU（MPSMU） |
B1511A MPSMU |
1 |
高達 100 V、100 mA，10 fA 電流分辨率 |
| 強電流 SMU（HCSMU） |
B1512A HCSMU |
2 |
20 A/20 V（脈沖）；1 A/40 V（直流）*1 |
| 高電壓 SMU（HVSMU） |
B1513B HVSMU |
2 |
1500 V/8 mA；3000 V/4 mA（脈沖和直流） |
| 中等電流 SMU（MCSMU） |
B1514A MCSMU |
1 |
1 A/30 V（脈沖）；100 mA/30 V（直流） |
| 多頻電容測量單元（MFCMU） |
B1520A MFCMU |
1 |
1 kHz 至 5 MHz；0 至 ±25 V，使用 MFCMU 內部直流偏置
0 至 ±3000 V，使用 HVSMU 和高電壓偏置 T 型接頭 |
| 高電壓中等電流單元（HVMCU） |
M1266A HVSMU 電流擴展器、
B1513B HVSMU
和兩個 B1514A MCSMU/B1512A HCSMU |
4 - 6 |
±1500 V / 2.5 A（脈沖），±2200 V/ 1.1 A（脈沖） |
| 超強電流單元（UHCU） |
N1265A 超強電流擴展器/夾具
和兩個 B1514A MCSMU/B1512A HCSMU |
2 - 4 |
1500 A/ 60 V（脈沖），22.5 kW 峰值功率、
±500 A / 60 V（脈沖），7.5 kW 峰值功率 |
| 超高電壓單元（UHVU） |
N1268A 超高電壓擴展器
和兩個 B1514A MCSMU
或 B1512A HCSMU
和 B1514A MCSMU 組合 |
2 - 3 |
10 kV/10 mA（直流），10 kV/ 20 mA（脈沖） |
*1. 使用兩個 HCSMU 和雙 HCSMU 組合適配器，當前的范圍可擴展至 40 A/20 V（脈沖）和 2 A/40 V（直流）。
Microsoft 和 Windows 是微軟公司在美國的注冊商標。
